2022世界杯晋级名额

7月15日，受机械科学与工程学院陈蓉教授邀请，国际标准化组织金属及其他无机覆盖层委员会（ISO/ TC107）主席、韩国鲜文大学教授Soo Wohn Lee教授和中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员一行到2022世界杯晋级名额 开展学术交流，共同研讨原子层沉积技术的国际标准制定。

陈蓉教授陪同Lee教授参观了2022世界杯晋级名额 ，现场展示了团队自主研发的晶圆平面型、大幅面空间隔离型和微纳颗粒原子层沉积装备，详细介绍了团队在原子层沉积理论、工艺和装备研发思路，以及在半导体、显示、新能源等领域推广应用取得的成果。

在随后的会议交流中，陈蓉教授介绍了国际标准化组织-金属及其他无机覆盖层技术委员会原子层沉积工作组（ISO/TC107 WG5）的标准制定进展情况，目前已经发表了《原子层沉积术语》国际标准1项，正在制定的标准有3项。曹坤和杨帆副教授分别介绍了团队起草的关于半导体选择性沉积和太阳能电池应用领域的标准草案。

Lee教授表示原子层沉积技术是一项应用广泛的原子级制造技术，高度评价了陈蓉教授团队在原子层沉积技术和应用方面取得的成果。Lee教授介绍了ISO/TC107的工作范围、历史发展和标准制定流程，肯定了陈蓉教授作为ISO/TC107 WG5召集人开展的工作，希望团队能更深入的参与国际标准化组织活动。双方就原子层沉积相关国际标准制定工作进行了充分的交流，对未来工作组的工作重点和发展规划达成了共识。