2024年6月6日,《Chemistry of materials》在线发表了华科微纳中心陈蓉教授团队关于区域选择性沉积(ASD)技术在金属互连中利用固有选择性实现金属选择性沉积的文章Area selective deposition of Ru on W/SiO2 nanopatterns via sequential reactant dosing and thermal defect correction(通过多次短脉冲和热缺陷后处...
日期:2024-07-15
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